光柵式線性測微計(jì)工作原理及輸出信號類型

        光柵式線性測微計(jì)主要使用傳動型光電線性編碼器，如下圖所示。

        在這個(gè)類型中，光源 (LED) 和檢測器要素 (發(fā)光二 管) 彼此相對，主尺和指示尺 (20µm 間距) 在它們之間。當(dāng)光柵尺相對檢測器移動時(shí)，透過指示尺窗口的光線亮度連續(xù)變化。同時(shí)，輸出兩個(gè)同步的正弦波信號形成 90 度相位差。這些信號被放大和分離 (使用插入的附加波形)，并以0.1µm、0.5µm、1µm 和 5µm 的正弦波信號輸出。

        光柵式線性測微計(jì)處理內(nèi)部檢測到的信號和輸出正弦波信號如下圖所示。

        這些 90 度相位差的正弦波操作信號相當(dāng)于 RS-422A 信號，測頭可以獨(dú)立使用。但是，某些型號 (LGD 和 LGS) 不

能輸出正弦波信號而是輸出 Digimatic 代碼(SPC)，用以鑒定測量位置。